2023年中国刻蚀设备行业发展现状：政府推动技术发展，国产刻进口替代空间广阔[图]

内容概况：随着国内集成电路产业的快速发展，对刻蚀设备的需求将继续增加，预计未来几年中国刻蚀设备市场规模还将继续保持增长态势。具体而言，2022年我国刻蚀设备行业市场规模342.41亿元，其中，介质刻蚀设备173.23亿元；硅刻蚀设备156.03亿元；金属刻蚀设备13.15亿元。

关键词：刻蚀设备市场规模 刻蚀设备主要企业 刻蚀设备成本 刻蚀设备产业链

一、刻蚀设备产业发展概述

刻蚀是指通过溶液、离子等方式剥离移除如硅、金属材料、介质材料等晶圆表面材料，从而达到集成电路芯片结构设计要求的一种工艺流程。刻蚀工艺分为干法刻蚀和湿法刻蚀，目前应用主要以干法刻蚀为主，市场占比90%以上。湿法刻蚀在小尺寸及复杂结构应用中具有局限性，目前主要用于干法刻蚀后残留物的清洗。湿法刻蚀可分为化学刻蚀和电解刻蚀。根据作用原理，干法刻蚀可分为物理刻蚀(离子铣刻蚀)和化学刻蚀(等离子刻蚀)。根据被刻蚀的材料类型，干法刻蚀则可分为金属刻蚀、介质刻蚀与硅刻蚀。ICP 与CCP 是应用最为广泛的刻蚀设备。

二、刻蚀设备行业政策背景

随着国内集成电路产业的快速发展，对刻蚀设备的需求越来越大。近些年来，为积极推进半导体设备产业的突破，我国陆续发布了许多国家和地方政策，如2023年1月内蒙古自治区人民政府《关于加快推进数字经济发展若干政策的通知》支持电子信息制造业发展，服务器及数据中心相关设备、半导体、通信设备、智能终端、消费电子产品、传感器、光电、显示、电子专用装备及关键电子材料、零部件、元器件等列入自治区数字经济重点项目名单。在政策支持和市场需求推动下，国内刻蚀设备企业将加速实现国产替代，提高国产设备的市场占有率和技术水平。刻蚀设备行业技术研发趋势将围绕提高加工速度和精度、适应新材料加工、绿色环保、智能制造和国产替代等方面展开。未来，随着市场需求和技术进步的不断推动，该行业的技术创新还将继续加速发展。

三、刻蚀设备行业产业链

刻蚀设备在半导体制造领域中具有广泛的应用。在半导体制程中，刻蚀设备主要用于将光刻技术产生的电路图从半导体材料上转移到目标芯片上。具体来说，刻蚀设备通过物理或化学方法将电路图从光刻胶上转移到半导体材料上，然后去除光刻胶，最终得到所需的电路图形。刻蚀设备上游成本包括直接材料、直接人工和制造费用。其中直接材料成本就是机械类、电气类、真空系统类、传感器类、仪器仪表类、气动系统类等部件成本，占比最大，占整体成本的88%，中游主要是刻蚀设备的生产和制备，下游主要是应用半导体领域，终端应用于消费电子、工业自动化、智能家居、物联网、能源电力等

在刻蚀设备原材料方面，主要包括机械类、电气类、真空系统类、传感器类、仪器仪表类、气动系统类等部件。这些原材料的质量和性能对刻蚀设备的性能和稳定性有着重要影响。中国在原材料供应方面具备一定的优势，部分企业已经具备了较高水平的制造能力，能够提供高质量的刻蚀设备原材料。其中直接材料成本就是机械类、电气类、真空系统类、传感器类、仪器仪表类、气动系统类等部件成本，占比最大，占整体成本的88%。

四、刻蚀设备产业发展现状

随着集成电路行业的不断发展，集成电路制造产业对于刻蚀工艺的复杂度要求不断上升，刻蚀技术也在不断地演进：主要运用设备已从只能进行有限控制的圆筒式刻蚀机，发展至集成刻蚀参数控制软件的现代等离子体刻蚀机。数据显示，2020年全球刻蚀设备市场规模142.38亿美元，2022年增至215.28亿美元。细分区域结构来看，2022年韩国刻蚀设备市场规模45.17亿美元，占全球比重达20.98%；中国刻蚀设备市场规模50.91亿美元，占比23.65%；中国台湾刻蚀设备市场规模56.32亿美元，占比26.16%。

相关报告：智研咨询发布的《中国刻蚀设备行业市场供需态势及发展前景研判报告》

中国刻蚀设备行业的市场规模在不断扩大。根据数据，中国半导体设备市场规模在2022年已经达到了1630.52亿元，其中刻蚀设备占据了相当大的比例。随着国内集成电路产业的快速发展，对刻蚀设备的需求将继续增加，预计未来几年中国刻蚀设备市场规模还将继续保持增长态势。具体而言，2022年我国刻蚀设备行业市场规模342.41亿元，其中，介质刻蚀设备173.23亿元；硅刻蚀设备156.03亿元；金属刻蚀设备13.15亿元。

五、刻蚀设备产业企业竞争

半导体刻蚀设备市场主要由美日厂商主导。半导体刻蚀设备领域长期由海外龙头垄断，根据中商情报网统计，全球刻蚀企业前三大分别是泛林半导体（Lam Research）、东京电子（TEL）、应用材料（AMAT），全球市占率合计近9成其中泛林半导体以超4成以上的市场份额遥遥领先，东京电子和应用材料则分别占据3成和2成的市场份额。中国大陆刻蚀设备供应商份额有限，中微公司和北方华创分别占据约1%的市场份额，国产刻蚀设备具有广阔的进口替代空间。

六、刻蚀设备产业发展趋势

我国刻蚀设备国产化发展趋势强劲。随着半导体产业的高速发展，国内厂商在刻蚀设备领域取得了显著突破，技术水平不断提升，正逐步实现从进口依赖到自主可控的转变。未来，随着技术创新的推动和产业政策的支持，国产刻蚀设备将在市场中占据更大份额，加速推动我国半导体产业的自主可控进程。

我国刻蚀设备国产化需求增长趋势显著。随着半导体工艺技术的不断进步和产业规模的持续扩大，国内市场对刻蚀设备的需求呈现出快速增长的态势。同时，为了降低生产成本、提高产能和保障供应链安全，越来越多的国内半导体企业开始倾向于采购国产刻蚀设备，为国内刻蚀设备厂商提供了广阔的市场机遇和发展空间。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国刻蚀设备行业市场供需态势及发展前景研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。