趋势研判！2025年中国半导体CVD设备行业产品分类、产业链、发展现状、竞争格局及前景展望：半导体CVD设备技术不断进步，行业规模超500亿元[图]

内容概况：半导体CVD设备是半导体产业链的“心脏”设备之一，其技术水平直接决定了芯片的性能、良率和制造成本。随着半导体制造工艺向大尺寸晶圆发展，均匀的薄膜沉积对于保证整片晶圆上器件性能的一致性至关重要，半导体CVD设备在这方面表现出色。与此同时，半导体CVD设备所形成的薄膜具有良好的致密性和附着力，良好的致密性能够有效阻挡外界杂质的侵入，提高半导体器件的稳定性和可靠性；而强附着力则确保薄膜在后续的加工和使用过程中不会轻易脱落，保障了器件的长期性能。近年来，随着国内半导体市场的迅速崛起，特别是5G、物联网、人工智能等新兴技术的普及，国内对芯片的需求量呈现出爆炸式的增长，推动了中国半导体CVD设备行业的快速发展。据统计，中国半导体CVD设备行业市场规模从2015年的45.32亿元增长至2024年的524.56亿元，年复合增长率为31.27%。随着摩尔定律的延续和先进封装、化合物半导体的兴起，半导体CVD设备将向高精度、低能耗、多功能集成方向发展，而国产设备厂商的自主创新将成为中国半导体产业自主可控的关键环节。

相关上市企业：拓荆科技（688072）、北方华创（002371）、微导纳米（688147）、中微公司（688012）、盛美上海（688082）、浙江仙通（603239）、英杰电气（300820）、有研新材（600206）、雅克科技（002409）、江丰电子（300666）等。

相关企业：亚赛（无锡）半导体科技有限公司、河南省裕鑫新能源科技有限公司等。

关键词：半导体CVD设备、市场规模、销售额、半导体设备、全球、半导体

一、半导体CVD设备行业概述

半导体设备是制造半导体器件所必需的精密仪器和设备，是半导体行业的基石。半导体设备在半导体制造中扮演着至关重要的角色，对于实现高效、高质量的半导体器件生产尤为重要。当前，以半导体设备为代表的半导体产业已经成为我国战略性产业，它不仅仅是我国经济发展的战略方向，更是大国间科技竞争的战略制高点。根据用于工艺流程的不同，半导体设备通常分为制造设备（前道设备）和封测设备（后道设备），其中，前道设备主要包括光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备、CMP设备、清洗设备、离子注入机设备、热处理设备等。后道设备主要分为封装设备和测试设备，封装设备主要包括划片机、贴片机、裂片机、引线键合机、切筋成型机等；测试设备主要包括分选机、测试机、探针台等。

半导体薄膜沉积设备是前道工艺设备中的重要组成部分，用于在晶圆表面沉积各种薄膜材料，如金属、氧化物等。薄膜沉积设备按照工艺原理的不同可分为物理气相沉积（PVD）设备和化学气相沉积（CVD）设备。

半导体CVD设备是半导体制造过程中用于化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition，CVD）工艺的关键设备。其核心功能是通过化学反应，将气态物质沉积在半导体晶圆（硅片）表面，形成一层固态薄膜，这些薄膜是构建半导体器件（如晶体管、集成电路）的基础材料。半导体CVD设备主要包括常压化学气相沉积（APCVD）、低压化学气相沉积（LPCVD）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、原子层化学气相沉积（ALD）、气相外延（VPE）、金属有机物化学气相沉积（MOCVD）、高密度等离子体化学气相沉积（HDPCVD）等。

二、半导体CVD设备行业产业链

半导体CVD设备产业链上游为原材料，包括陶瓷加工件、加热盘、密封件、金属加工件等机械类；射频电源、射频匹配器、远程等离子源、供电系统等电气类；气体测量仪器等仪器仪表类；机械手、加热带等机电一体类；气体输送系统；真空系统等。产业链中游为半导体CVD设备的生产制造。产业链下游为半导体CVD设备的应用，主要是半导体制造。

半导体CVD设备主要用于制作半导体。半导体是持续支撑起中国科技创新发展的重要领域，半导体企业既是当下中国企业科技创新的中流砥柱，也将在未来一段时间内展现出持久的科创生命力。近年来，凭借巨大的市场需求、丰富的人口红利、稳定的经济增长及有利的产业政策环境等众多优势条件，中国半导体产业实现了快速发展。据统计，2024年中国半导体行业市场规模约为47344.73亿元。未来，随着5G、AI、物联网和自动驾驶等技术的快速发展，半导体需求将持续攀升，这将直接推动上游半导体CVD设备市场的扩张。

相关报告：智研咨询发布的《中国半导体CVD设备行业市场产销格局及投资前景研判报告》

三、半导体CVD设备行业发展现状

集成电路产业是推动科技进步的关键力量，更是支撑国家经济发展的重要支柱。半导体行业历来遵循着“一代产品、一代工艺、一代设备”的发展规律，晶圆制造作为半导体产业链的核心环节，需要超前于下游应用开发新一代工艺，而半导体设备则要超前于晶圆制造开发新一代设备。伴随着数字化、自动化、智能化趋势的不断深化，以消费电子、物联网、汽车电子等为代表的新兴产业快速发展，对半导体芯片的性能和效率提出了更高的要求。面对新兴市场需求的不断涌现，高端半导体设备需要持续迭代创新，不断提升产品性能，以满足市场对于更高性能、更低功耗、更小尺寸的集成电路需求，同时，也产生了巨大的半导体设备市场空间。根据SEMI统计，2024年全球半导体设备销售额达到1171亿美元，同比增长10.16%，并持续保持增长态势。

在高端半导体设备中，薄膜沉积设备、光刻设备、刻蚀设备共同构成芯片制造三大核心设备，决定了芯片制造工艺的先进程度。薄膜沉积设备所沉积的薄膜是芯片结构内的功能材料层，在芯片制造过程中需求量巨大，且直接影响芯片的性能。由于不同芯片结构所需要的薄膜材料种类不同、沉积工序不同、性能指标不同，相应产生了巨大的薄膜沉积设备市场，2024年全球晶圆制造设备销售额达到约1042亿美元，约占总体半导体设备销售额的90%，薄膜沉积设备约占晶圆制造销售额的22%。2024年全球薄膜沉积设备销售额约为229.24亿美元。其中，CVD在薄膜沉积设备市场中占比最高，PECVD是最大的细分市场。CVD占整体市场大约75%，PECVD、ALD、LPCVD分别占整体市场33%、11%、11%；PVD最主要用于沉积金属薄膜，而金属薄膜用于后段工艺中的金属层和前段的金属栅极，应用场景相较CVD有限，PVD占整体市场比例大约19%。

中国大陆作为全球最大的消费电子市场，对半导体芯片的需求量巨大，同时也为半导体设备带来了广阔的市场空间，尤其是在终端市场强劲需求和新兴产业快速发展的拉动下，对半导体设备的需求呈现持续增长的态势。根据SEMI统计，2024年中国大陆半导体设备销售额达到3532.36亿元，同比增长36.96%，连续第五年成为全球最大半导体设备市场。近年来，在复杂多变的国际形势及我国持续加大半导体产业政策扶持的背景下，中国大陆半导体产业发展迅速，在半导体技术迭代创新、产业生态等方面均形成良好效果，产业链逐步完善，并加快先进技术领域的布局，为国内高端半导体设备厂商创造了巨大的发展机遇和市场空间。

半导体CVD设备是半导体产业链的“心脏”设备之一，其技术水平直接决定了芯片的性能、良率和制造成本。随着半导体制造工艺向大尺寸晶圆发展，均匀的薄膜沉积对于保证整片晶圆上器件性能的一致性至关重要，半导体CVD设备在这方面表现出色。与此同时，半导体CVD设备所形成的薄膜具有良好的致密性和附着力，良好的致密性能够有效阻挡外界杂质的侵入，提高半导体器件的稳定性和可靠性；而强附着力则确保薄膜在后续的加工和使用过程中不会轻易脱落，保障了器件的长期性能。近年来，随着国内半导体市场的迅速崛起，特别是5G、物联网、人工智能等新兴技术的普及，国内对芯片的需求量呈现出爆炸式的增长，推动了中国半导体CVD设备行业的快速发展。据统计，中国半导体CVD设备行业市场规模从2015年的45.32亿元增长至2024年的524.56亿元，年复合增长率为31.27%。随着摩尔定律的延续和先进封装、化合物半导体的兴起，半导体CVD设备将向高精度、低能耗、多功能集成方向发展，而国产设备厂商的自主创新将成为中国半导体产业自主可控的关键环节。

四、半导体CVD设备行业企业格局和重点企业分析

全球半导体CVD设备市场由AMAT、LAM和TEL三大国际巨头主导，合计份额超过80%，而ASML和DNS等企业也在细分领域占据重要地位。国内厂商中，拓荆科技在PECVD领域领先，北方华创、微导纳米等则在ALD设备市场展开竞争；中微公司在MOCVD技术方面达到国际先进水平，盛美上海由清洗设备向CVD领域延伸，形成多元化布局。国内外企业共同推动CVD技术迭代，竞争格局呈现国际化与本土化并行的特点。

中国半导体CVD设备行业竞争格局呈现多元化发展态势，北方华创作为综合性半导体装备龙头，覆盖CVD、PECVD等多种工艺设备；盛美上海凭借差异化创新战略，在PECVD、ALD、SACVD等薄膜沉积设备领域形成平台化布局，并拓展至先进封装和计量检测设备；拓荆科技在PECVD领域占据领先地位；微导纳米则以ALD技术为核心，专注于先进纳米级薄膜设备研发。国内企业通过自主创新逐步打破国际垄断，在逻辑芯片、存储芯片等产线实现产业化应用，推动国产替代进程。

1、拓荆科技股份有限公司

拓荆科技股份有限公司主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售与技术服务。自成立以来，公司始终坚持自主研发、自主创新，目前已形成PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、Flowable CVD等薄膜设备产品，以及应用于三维集成领域的先进键合设备和配套的计量检测设备产品，薄膜设备产品已广泛应用于国内集成电路逻辑芯片、存储芯片等制造生产线，先进键合设备和配套的计量检测设备产品已实现产业化应用。公司主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务。公司通过向下游客户销售设备并提供备品备件和技术服务来实现收入和利润。公司主营业务收入来源于半导体设备的销售，其他业务收入主要来源于设备有关的备品备件销售。据统计，2024年拓荆科技半导体设备营业收入为39.58亿元，同比增长50.27%。

2、北方华创科技集团股份有限公司

北方华创科技集团股份有限公司专注于半导体基础产品的研发、生产、销售和技术服务，主要产品为电子工艺装备和电子元器件，电子工艺装备包括半导体装备、真空及新能源装备。电子元器件包括电阻、电容、晶体器件、模块电源、微波组件等。北方华创始终坚持科技创新，不断推动产品迭代升级，积极拓展产品应用领域，以满足快速发展的市场需求。在半导体装备业务板块，北方华创的主要产品包括刻蚀、薄膜沉积、热处理、湿法、离子注入等核心工艺装备，广泛应用于集成电路、功率半导体、三维集成和先进封装、化合物半导体、新型显示等制造领域。北方华创借助产品技术领先、种类多样、工艺覆盖广泛等优势，以产品迭代升级和成套解决方案为客户创造更大价值。数据统计，2024年北方华创电子工艺装备营业收入为277.07亿元，同比增长41.28%。

五、半导体CVD设备行业发展趋势

1、技术升级与创新驱动

中国半导体CVD设备行业未来将加速技术迭代，以满足先进制程的需求。随着芯片制造向3nm及以下节点迈进，CVD设备需在薄膜均匀性、缺陷控制和沉积速率等方面实现突破，推动反应腔设计、气体输送系统和等离子体控制技术的优化。同时，新材料（如二维半导体、高k介质）的应用将催生新型CVD工艺，如原子层沉积（ALD）与CVD的混合技术，以提升薄膜质量和器件性能。此外，智能化技术（如AI驱动的工艺优化和实时监控）将进一步提升设备的稳定性和生产效率，帮助国内厂商缩小与国际领先水平的差距。

2、市场需求多元化拓展

CVD设备的应用场景正从传统逻辑芯片和存储器向更广泛领域延伸。第三代半导体（如碳化硅、氮化镓）的快速发展将推动高温CVD、外延沉积等专用设备的需求增长，尤其在新能源汽车、光伏和射频器件领域。此外，先进封装技术（如Chiplet）的兴起要求CVD设备在介电层、TSV（硅通孔）等环节提供更高精度的解决方案。下游厂商对设备兼容性和成本效率的要求提升，可能促使模块化、多工艺集成型CVD设备成为市场新趋势，为国内企业提供差异化竞争机会。

3、本土化与生态协同强化

国际巨头仍主导高端CVD设备市场，但国内厂商有望通过细分领域突破逐步提升市场份额。在成熟制程、特色工艺（如MEMS、传感器）以及封装环节，本土CVD设备凭借性价比和定制化服务优势，可能率先实现进口替代。同时，设备商与晶圆厂、材料供应商的协同将更加紧密，通过联合研发和工艺验证，加速国产设备的成熟度提升。此外，区域性半导体制造集群（如长三角、珠三角）的形成，将进一步推动CVD设备供应链的本土化，降低对进口设备的依赖，增强行业整体竞争力。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国半导体CVD设备行业市场产销格局及投资前景研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。