研判2025！中国CVD碳化硅零部件行业产业链、市场规模及重点企业分析：CVD碳化硅零部件加速国产化，但仍处追赶国际先进水平阶段[图]

内容概况：近年来，随着半导体产业的快速发展，CVD碳化硅零部件作为关键材料，其市场需求持续增长。中国作为全球最大的半导体市场之一，CVD碳化硅零部件行业也在加速发展，但整体仍处于追赶国际先进水平的阶段。2024年，中国CVD碳化硅零部件行业市场规模为19.94亿元，同比增长17.42%。

相关上市企业：天岳先进（688234）、三安光电（600703）、华润微（688396）、东尼电子（603595）、斯达半导（603290）

相关企业：江苏联瑞新材料股份有限公司、合盛硅业股份有限公司、湖北鼎龙控股股份有限公司、方大炭素新材料科技股份有限公司、北方华创科技集团股份有限公司、拓荆科技股份有限公司、广东创世纪智能装备集团股份有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司、山东天岳先进科技股份有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司、浙江晶盛机电股份有限公司

关键词：CVD碳化硅零部件、CVD碳化硅零部件市场规模、CVD碳化硅零部件行业现状、CVD碳化硅零部件发展趋势

一、行业概述

CVD碳化硅零部件是指以化学气相沉积（CVD）技术为基础，通过在基板上沉积碳化硅（SiC）材料，生产出具有高性能、高可靠性、耐高温、耐高压等特性的零部件。这种材料因其具有出色的热、电和化学性质的独特组合，使其非常适合在需要高性能材料的半导体行业应用。

二、行业产业链

CVD碳化硅零部件行业产业链上游主要包括高纯硅粉、高纯碳粉等原材料，以及纯化炉、CVD沉积炉、CNC设备等生产设备。产业链中游为CVD碳化硅零部件生产制造环节。产业链下游主要为半导体设备领域，包括刻蚀设备、MOCVD设备、Si外延设备和SiC外延设备、快速热处理设备等。

近年来，中国大陆在半导体设备领域的技术进步显著。国内企业如中微公司等在刻蚀设备领域取得了重要突破，部分产品已达到国际先进水平。这些技术进步不仅提升了国内企业的市场竞争力，也加速了国产替代进程。政府出台的一系列政策支持，进一步推动了半导体设备的国产化。2024年，中国大陆集成电路刻蚀设备市场规模为696.50亿元，同比增长36.14%。而随着半导体制造技术向7nm及以下先进制程迈进，刻蚀设备对高耐腐蚀、高导热材料的需求激增。CVD碳化硅零部件因其对含氯、含氟刻蚀气体的低反应性以及优异的导电性能，成为等离子体刻蚀设备中聚焦环、气体喷淋头等部件的理想材料。

相关报告：智研咨询发布的《中国CVD碳化硅零部件行业市场全景调研及发展趋向研判报告》

三、市场规模

随着5G通信、人工智能、物联网等新兴技术的迅速崛起，全球半导体行业对高性能零部件的需求不断增加。CVD碳化硅零部件因其卓越的耐高温、耐腐蚀和高导电性等特性，成为半导体制造设备中的关键材料，推动了市场规模的扩大。2024年，全球CVD碳化硅零部件行业市场规模为10.70亿元，同比增长11.23%。

近年来，随着半导体产业的快速发展，CVD碳化硅零部件作为关键材料，其市场需求持续增长。中国作为全球最大的半导体市场之一，CVD碳化硅零部件行业也在加速发展，但整体仍处于追赶国际先进水平的阶段。2024年，中国CVD碳化硅零部件行业市场规模为19.94亿元，同比增长17.42%。

四、重点企业经营情况

全球CVD碳化硅零部件市场由国际巨头主导，如Tokai Carbon、Sgl Carbon、Toyo Tanso等。然而，中国企业在技术突破和国产化替代方面取得了显著进展。例如，2022年，志橙半导体以3.57%的全球市占率成为唯一进入前十的中国企业，德智新材料、六方科技等企业也在技术突破和产能扩张方面表现出色。这些企业通过不断的技术创新和市场拓展，逐步缩小了与国际水平的差距。

深圳市志橙半导体材料股份有限公司成立于2017年，主要研发、生产、销售用于半导体设备的碳化硅涂层石墨零部件产品，并提供相关碳化硅涂层服务，主要产品可用于碳化硅（SiC）外延设备、MOCVD设备、硅（Si）外延设备等多种半导体设备反应腔内。公司是国内少数能够自主开发CVD法碳化硅沉积炉并掌握多项CVD碳化硅涂层核心技术的企业，截至2023年6月，共获国内授权专利41项，其中发明专利24项，实用新型专利17项。公司产品具有高纯度、耐高温、耐腐蚀、高精度等特点，已获得百余家半导体企业批量验证，与国内半导体设备制造、外延片制造、晶圆制造等领域龙头公司建立了稳定的合作关系。2022年，公司在国内CVD碳化硅零部件领域的市场份额达到14.51%，成为国内市场第三大供应商。公司还积极推进实体碳化硅、烧结碳化硅等新产品的研发制备，不断优化公司产品结构。

湖南德智新材料股份有限公司专注于半导体用碳基及碳化物陶瓷部件材料研发、生产和销售，是国内最早采用CVD技术研发制造先进半导体用SiC材料的科技型企业之一。其主要产品有SiC涂层石墨基座、SiC蚀刻环等。2020年，德智新材自主设计的国内最大化学气相沉积设备正式投入使用，SiC涂层石墨基座顺利实现产业化，成为国内半导体行业突破国外技术垄断的关键产品之一。蚀刻环是半导体蚀刻工艺的重要耗材，德智新材采用自主研发的CVD设备生长SiC本体，再进行精密加工成形，突破了这一技术难关，其半导体用SiC蚀刻环项目已率先在国内实现了量产交付。

五、行业发展趋势

1、技术持续突破，国产替代加速

随着半导体产业的快速发展，CVD碳化硅零部件的技术水平不断提升。国内企业在CVD碳化硅零部件领域取得了显著进展，部分企业如深圳市志橙半导体材料股份有限公司等已实现产品从无到有的跨越，并逐步提升产品性能和市场份额。未来，国内企业将继续加大研发投入，提升技术水平，优化产品性能，以满足半导体设备市场对高性能零部件的不断增长的需求。同时，政策支持也为国产替代提供了有力保障，加速了CVD碳化硅零部件的国产化进程。

2、市场需求增长，应用领域拓展

CVD碳化硅零部件在半导体制造设备中的应用越来越广泛，特别是在刻蚀设备、MOCVD设备、Si外延设备和SiC外延设备等领域。随着5G通信、人工智能、物联网等新兴技术的崛起，全球对高性能芯片的需求不断增加，这将直接推动CVD碳化硅零部件市场的增长。此外，新能源汽车、光伏逆变器等领域的快速发展也为CVD碳化硅零部件提供了新的应用市场。

3、产业链不断完善，推动协同发展

CVD碳化硅零部件行业的产业链不断完善，从原材料供应到设备制造，再到下游应用，各环节协同发展。上游原材料供应商和设备制造商的技术进步，将为CVD碳化硅零部件的生产提供更高质量的原材料和更先进的生产设备。下游应用市场的拓展，则将进一步推动CVD碳化硅零部件的技术创新和产品升级。未来，随着产业链各环节的协同发展，CVD碳化硅零部件行业将形成更加完善的产业生态，提升整个行业的竞争力。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国CVD碳化硅零部件行业市场全景调研及发展趋向研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。