2025年中国电子气体尾气回收市场规模分析[图]

内容概要：电子气体尾气回收是指在生产过程中对工艺环节排放的废弃电子气体进行捕获、纯化与再利用的技术与管理过程。电子气体尾气回收具有资源循环利用、降低生产成本、减少环境污染的多重价值。市场需求及技术进步的持续拉动，使得过去几年中国电子气体尾气回收行业市场规模实现了跨越式增长。2024年中国电子气体尾气回收行业市场规模达51.1亿元，同比增长17.7%。

关键词：各类电子气体尾气回收特点、电子气体尾气回收行业市场规模

一、电子气体尾气回收概述

电子气体尾气回收是指对工艺环节排放的废弃电子气体进行捕获、纯化与再利用的技术与管理过程。其核心目标是通过专业的设备和工艺，将原本可能被直接排放的尾气转化为可再次用于生产的高纯度气体，从而实现资源循环利用、降低生产成本、减少环境污染的多重价值。

（1）电子气体尾气回收的核心环节

电子气体尾气回收的包括气体收集、预处理、提纯分离等环节。具体如下：

（2）各类电子气体尾气回收特点

电子气体尾气回收涉及的气体类型多样，主要源于电子制造业（集成电路、面板、光伏新能源等）的工艺排放，或者大化工行业里的有用尾气成分，可按气体性质、用途及回收价值分为惰性/稀有气体、易燃易爆气体、剧毒/腐蚀性气体、温室效应气体四大类。不同性质的气体所采用的回收方式有较大差异。对于属于量大或资源稀缺的尾气品类，尾气回收的市场驱动效应巨大，国内外厂商持续通过技术与工艺的改进，推动尾气回收的应用与实施，目前市场上较为常见的尾气回收提纯电子气体包括N₂O、氦气（He）、氩气（Ar）、氨气（NH4）、氢气（H2）、二氧化碳（CO2）等。不同电子气体对应的回收特点各不相同，如剧毒/腐蚀性气体回收处理需严格密封和专业工艺，高燃爆风险的气体回收时需控制氧含量和温度。

二、中国电子气体尾气回收行业政策分析

电子气体尾气回收是集成电路、光伏等高端制造业绿色化发展的关键环节。2020年后半导体产业链自主可控的驱动下，政策体系加速完善，推动行业向规范化、高技术化方向转型。

三、电子气体尾气回收行业市场规模分析

电子气体（如氦气、氩气、氧化亚氮等）价格昂贵，回收后可直接降低企业采购成本。例如，光伏生产企业可通过氩气回收系统将氩气采购量大幅减少；半导体企业回收三氟化氮等温室气体，不仅避免高额排污费，还可通过碳交易获利。同时，技术进步推动设备成本降低，提高了用气企业采用尾气回收装置的意愿，例如膜分离技术使氦气回收运营成本下降。此外，电子信息制造企业与气体供应商合作开发定制化回收方案，产业链协同创新推动技术迭代和国产化替代。最重要的是，我国集成电路制造及光伏产业的产能快速扩张直接增加了尾气回收设备需求。市场需求及技术进步的持续拉动，使得过去几年中国电子气体尾气回收行业市场规模实现了跨越式增长。2024年中国电子气体尾气回收行业市场规模达51.1亿元，同比增长17.7%。

2025年中国集成电路及显示面板产能规模的进一步扩张，将进一步带动电子气体用量激增。而尾气回收可降低企业气体采购成本。如韩国 SK 海力士通过氖气回收技术实现 72.7% 的回收率，每年节省400亿韩元采购成本，这一模式正被国内企业借鉴，尾气回收系统的配套建设成为必然。预计2025年中国电子气体尾气回收行业市场规模将增长至56.6亿元。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国气体纯化设备行业市场竞争态势及发展趋势研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。